5.6 Parasitic Capacitance

#

PARAMETERS

XTORS

DIMENSIONS / COMMENTS

MIN

TYP

MAX

UNITS

6

PARASITIC CAPACITANCE

Poly-P-Substrate

0.18um BEOL

0.0962

0.111

0.13

fF/μm2

M1-Diffusion

0.18um BEOL

0.0347

0.0402

0.0479

fF/μm2

M1-P-Substrate

0.18um BEOL

0.0255

0.0295

0.0351

fF/μm2

M1-Poly

0.18um BEOL

0.0427

0.0522

0.0672

fF/μm2

M2-Poly

0.18um BEOL

0.015

0.0167

0.0189

fF/μm2

M2-Diffusion

0.18um BEOL

0.0138

0.0153

0.017

fF/μm2

M2-P-Substrate

0.18um BEOL

0.0121

0.0134

0.0151

fF/μm2

M2-M1

0.18um BEOL

0.0337

0.0394

0.0472

fF/μm2

M3-M1

0.18um BEOL

0.0137

0.0151

0.0169

fF/μm2

M3-M2

0.18um BEOL

0.0337

0.0394

0.0472

fF/μm2

M4-M2

0.18um BEOL

0.0137

0.0151

0.0169

fF/μm2

M4-M3

0.18um BEOL

0.0337

0.0394

0.0472

fF/μm2

M5-M3

0.18um BEOL

0.0137

0.0151

0.0169

fF/μm2

M5-M4

0.18um BEOL

0.0337

0.0394

0.0472

fF/μm2

TM-M4

0.18um BEOL

0.0137

0.0151

0.0169

fF/μm2

TM-M5

0.18um BEOL

0.0337

0.0394

0.0472

fF/μm2