5.6 Parasitic Capacitance¶
#
PARAMETERS
XTORS
DIMENSIONS / COMMENTS
MIN
TYP
MAX
UNITS
6
PARASITIC CAPACITANCE
Poly-P-Substrate
0.18um BEOL
0.0962
0.111
0.13
fF/μm2
M1-Diffusion
0.18um BEOL
0.0347
0.0402
0.0479
fF/μm2
M1-P-Substrate
0.18um BEOL
0.0255
0.0295
0.0351
fF/μm2
M1-Poly
0.18um BEOL
0.0427
0.0522
0.0672
fF/μm2
M2-Poly
0.18um BEOL
0.015
0.0167
0.0189
fF/μm2
M2-Diffusion
0.18um BEOL
0.0138
0.0153
0.017
fF/μm2
M2-P-Substrate
0.18um BEOL
0.0121
0.0134
0.0151
fF/μm2
M2-M1
0.18um BEOL
0.0337
0.0394
0.0472
fF/μm2
M3-M1
0.18um BEOL
0.0137
0.0151
0.0169
fF/μm2
M3-M2
0.18um BEOL
0.0337
0.0394
0.0472
fF/μm2
M4-M2
0.18um BEOL
0.0137
0.0151
0.0169
fF/μm2
M4-M3
0.18um BEOL
0.0337
0.0394
0.0472
fF/μm2
M5-M3
0.18um BEOL
0.0137
0.0151
0.0169
fF/μm2
M5-M4
0.18um BEOL
0.0337
0.0394
0.0472
fF/μm2
TM-M4
0.18um BEOL
0.0137
0.0151
0.0169
fF/μm2
TM-M5
0.18um BEOL
0.0337
0.0394
0.0472
fF/μm2