2.1 General conductor Layer Table for simulationΒΆ
Conductor
Thickness (um)
for typical cap
Thickness (um)
for best cap
Thickness (um)
for worst cap
Width (um)
for typical cap
Width (um)
for best cap
Width (um)
for worst cap
Space (um)
for typical cap
Space (um)
for best cap
Space (um)
for worst cap
TM (6KA)
0.7025
0.6325
0.7725
0.36
0.32
0.4
0.38
0.42
0.34
TM (9KA)
1.0025
0.9025
1.1025
0.44
0.4
0.48
0.46
0.5
0.42
TM (11KA)
1.25
1.125
1.375
0.44
0.4
0.48
0.46
0.5
0.42
TM (30kA)
3
2.7
3.3
1.8
1.62
1.98
1.8
1.98
1.62
MIM_Top_Plate
0.295
0.265
0.325
1.06
0.954
1.166
0.6
0.706
0.494
M5
0.55
0.5
0.6
0.28
0.25
0.31
0.28
0.31
0.25
M4
0.55
0.5
0.6
0.28
0.25
0.31
0.28
0.31
0.25
M3
0.55
0.5
0.6
0.28
0.25
0.31
0.28
0.31
0.25
M2
0.55
0.5
0.6
0.28
0.25
0.31
0.28
0.31
0.25
M1
0.55
0.5
0.6
0.23
0.2
0.26
0.23
0.26
0.2
POLY1
0.2
0.19
0.21
0.18
0.16
0.2
0.25
0.27
0.23